布魯克X射線部門 朱性齊

為了找到測(cè)試銅箔樣品的更好的配置，這里對(duì)Cu箔樣品在三種不同的配置下進(jìn)行了嘗試：

1）第一種：線焦斑Cu靶BB幾何測(cè)試模式；

2）第二種：線焦斑Cu靶+GM鏡測(cè)試模式；

3）第三種：線焦斑Co靶BB幾何測(cè)試模式；

為了獲得相近的角度分辨率，第一種和第三種配置的發(fā)散狹峰均為1.0mm，第二種配置中的鏡子出口放置了0.2mm的出射狹縫。三種模式的測(cè)試結(jié)果如下圖1所示：                                              

▲圖1：黑色曲線是第一種模式的測(cè)試結(jié)果，紅色曲線是第二種模式的測(cè)試結(jié)果，藍(lán)色曲線是第三種模式的測(cè)試結(jié)果

圖1中三條XRD曲線的參數(shù)總結(jié)如下表1。

從表1數(shù)據(jù)可以看出，PB和SN效果更好的是第三種配置測(cè)試的結(jié)果。雖然第二種配置中PB的效果也不錯(cuò)，但是衍射峰的相對(duì)強(qiáng)度發(fā)生了變化，與另兩種BB幾何測(cè)試的衍射峰的相對(duì)強(qiáng)度有偏離。

表1：三種模式測(cè)試銅箔樣品的結(jié)果統(tǒng)計(jì)：

為了更直觀地對(duì)比測(cè)試結(jié)果，三條曲線進(jìn)行歸一化后的結(jié)果如圖2所示。從圖2中可以看出，在衍射峰的高值保持一致的情況下，第一種模式的背景高，第二種和第三種模式的背景都很低，并且第二種和第三種模式的背景強(qiáng)度基本一致。另外，第三種模式的背景波動(dòng)幅度小，也就是說(shuō)第三種模式的噪音低。由此可以看出測(cè)試Cu箔的更好的配置是第三種模式，即線焦斑Co靶BB幾何測(cè)試模式。

▲圖2：圖1中的三條曲線進(jìn)行強(qiáng)度的歸一化后如圖2所示。為了更清晰地對(duì)比三條曲線的背景，圖2中的縱軸也采用的平方根的形式表示。

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